据於氏族谱记载，於氏有以下几个源流：①源于姬姓，出自黄帝的臣子於则，属于以先祖名字为氏。②源于姬姓，出自西周时期官吏於官，属于以官职称谓为氏。③源于地名，出自春秋时期齐国於丘，属于以居邑名称为氏。④源于妫姓，出自战国时期齐国陈仲子，属于以居邑名称为氏。